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光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感技术研究进展

2017-04-18 物理学报

李自亮 廖常锐 刘申 王义平

(深圳大学光电工程学院, 光电子器件与系统教育部重点实验室, 深圳518060)


关键词: 光纤传感器, 法布里-珀罗干涉仪, 温度传感器, 压力传感器

DOI: 10.7498/aps.66.070708

物理学报, 2017, 66(07): 070708                 

     

        光纤法布里-珀罗干涉温度和压力传感器具有灵敏度高、制作简单、成本低、体积小和抗电磁干扰能力强等优点, 已被广泛应用于军事和民用领域. 在某些环境恶劣, 如具有强电磁干扰和腐蚀性, 或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域, 微型光纤温度和压力传感器发挥着重要的作用, 国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究. 本文综述了光纤法布里-珀罗干涉仪的基本原理、制备技术、及其压力和温度传感应用的研究进展. 详细介绍了湿法化学腐蚀制备法、电弧放电制备法、飞秒激光制备法、聚合物辅助制备法等常见光纤法布里-珀罗腔传感器的制作工艺, 分析了不同制作工艺的优缺点; 详细介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪在温度传感、压力传感和温压一体传感领域的应用; 最后对光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感器的发展进行了总结和展望.